SMC流量传感器安装连接尺寸

特点应用:

以制作在白金薄膜中的加热器(Rh)为中心，左右对称配置上游测温传感器(Ru)和下游测温传感器(Rd)，

再加上作为气体测温用的环境温度传感器(Ra)构成本MEMS传感器触点。

原理如右图所示，(a)气体在静止状态时，以Rh为中心加热后的气体温度呈分布均等状态，Ru · Rd同时显示同样的电阻值。

此外.(b)气体由左侧向右侧流动时．被加热的气体温度分布不再对称，Pd的电阻值会变为大于Ru。

由于Ru和Rd电阻值的差与流动气体的流速成比例，因此可测定其电阻值并根据计算处理得知气体的流向和流速(流量)。

Ra用于补偿气体温度或者环境温度。

●微小工件的吸附确认

●重复精度: ± 2% F.S.以下

●响应速度: 5 ms 以下、耐压: 500 kPa

测定流量范围300.0～3.0L/min

类型分离型传感器部

适用流体干燥空气 / N₂

OUT1输出形式模拟电压输出

传感器响应时间0.005 s

配管规格M5X0.8

模拟输出精度±5% F.S.

重复精度±2% F.S.

电源电压DC12～24V±10%

消耗电流16mA以下

可选项-无L型托架

●无润滑脂、对应RoHS

●一个电压监控器即可对应全部量程

●相关元件:真空过滤器ZFC050系列

SMC流量传感器安装连接尺寸